距离量测装置及方法

摘要

一种距离量测方法，使一基准电极耦接一导电部分，移动一接触探针，并感测接触探针、导电部分及基准电极间的一电流状态。依据该电流状态决定接触探针的一位置，藉以依据该位置测得导电部分与基准表面间的距离。

主权项

一种距离量测方法，适于量测一物体的一导电部分与一基准表面间的距离，该物体置于该基准表面，该距离量测方法包含：使一基准电极，耦接该导电部分，提供一电压差于该基准电极及一接触探针，移动该接触探针，并感测该接触探针、该导电部分及该基准电极间的一电流状态，依据该电流状态决定该接触探针的一位置，藉以依据该位置测得该导电部分与该基准表面间的距离，其中该移动该接触探针的步骤包含：使该接触探针沿一朝向该物体的该导电部分的第一方向移动，感测该接触探针、该导电部分及该基准电极间的该电流状态，当感测到该电流状态为导电时，使该接触探针沿相反于该第一方向的一第二方向移动，当感测到该电流状态为断路时，停止移动该接触探针。