分级静电透镜中控制带电粒子束的偏移的系统与方法

摘要

本发明揭露一种用于控制离子束之偏移、减速及聚焦的方法及设备。所述设备可包含分级偏移/减速透镜，其包含安置于离子束之相对侧的多个上部及下部电极，以及用于调整施加至所述电极之电压的控制系统。使用可操作以独立地控制所述离子束之偏移及减速的一组「虚拟旋纽」来改变上部与下部电极对之间的电位差。所述虚拟旋纽包含：对束聚焦及残余能量污染的控制；对上游电子抑制的控制；对束偏移的控制；以及对所述束之最终偏移角度的微调，同时将所述束之位置约束于所述透镜之出口处。

主权项

一种用于控制离子束之偏移的方法，其包括：提供电极组态，所述电极组态包括多个上部及下部电极对，每一对之所述上部及下部电极位于离子束之相对侧；对所述离子束之减速进行分级，沿透镜之长度获得偏移因子函数，以获得束角度校正；以及获得所述多个上部及下部电极对之电极电压以调整所述离子束之所述分级、所述偏移因子以及聚焦，使得所述离子束之中心射线轨迹(CRT)位于透镜中心之中心处；其中调整所述分级及所述偏移因子是使用调整所述离子束之至少一参数的至少一虚拟旋纽来达成。