发明名称 基板收纳容器
摘要 本发明提供一种能够在上锁机构的旋转操作体旋转操作时防止盖体的盖板和旋转操作体接触而损伤或磨擦产生粉尘的基板收纳容器。该基板收纳容器,具备:半导体晶圆收纳用的容器主体(1);容器主体(1)正面开闭用的盖体(10);及对关闭在容器主体(1)正面之盖体(10)上锁用的上锁机构(30),此外,盖体(10),由:可嵌合在容器主体(1)正面的盖主体(11);及可覆盖在盖主体(11)之正面(12)的透明盖板(19)所构成,上锁机构(30),由:轴支撑在盖主体(11)且可从盖板(19)外部旋转操作的旋转操作体(31);及根据旋转操作体(31)的旋转而滑动,从盖主体(11)的周壁出没成为接触或离开容器主体(1)正面内围的复数锁杆(36)所构成,盖板(19)和旋转操作体(31)当中,至少于盖板(19)设有旋转操作体(31)用之复数的姿势控制构件(60)。
申请公布号 TW201442157 申请公布日期 2014.11.01
申请号 TW102143547 申请日期 2013.11.28
申请人 信越聚合物股份有限公司 发明人 大贯和正;志田启之;山岸裕树;永岛刚;井上修一;松鸟千明;小山贵立
分类号 H01L23/02(2006.01) 主分类号 H01L23/02(2006.01)
代理机构 代理人 <name>林志刚</name>
主权项
地址 日本