| 发明名称 |
晶圆支撑及校准设备;WAFER SUPPORT AND ALIGNMENT APPARATUS |
| 摘要 |
所揭露的是晶圆支撑及校准设备。晶圆支撑及校准设备包括适用于固定、校准及支撑晶圆的晶圆支撑元件。晶圆支撑元件包括至少一个平坦部分以支撑晶圆、至少一个校准边缘部分从至少一个平坦部分向上突出以及由至少一个基座部分的一部分雕刻而成的至少一个凹陷袋区。至少一个凹陷袋区适用于接收至少一个垫。 |
| 申请公布号 |
TW201442144 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW103108675 |
申请日期 |
2014.03.12 |
| 申请人 |
瓦里安半导体设备公司 |
发明人 |
佩敢堵 保罗Ｅ;卡尔森 查理斯Ｔ |
| 分类号 |
H01L21/683(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>叶璟宗</name><name>郑婷文</name><name>詹富闵</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
