乾燥装置及乾燥处理方法（一）

摘要

提供一种可效率良好并短时间地除去涂布在基板上之有机材料膜中的溶媒,并且溶媒之蒐集所使用之构件恢复容易的乾燥装置。乾燥装置系具备有:可抽真空的处理容器;作为在处理容器内支撑基板的支撑构件之载置台;设置成对向于被支撑在载置台的基板并蒐集从有机材料膜挥发的溶媒之溶媒蒐集部;以及控制部。又,溶媒蒐集部系具备有作为使被蒐集的溶媒脱离的溶媒脱离装置之温度调节装置。溶媒蒐集部系具备有配置成对向于被载置在载置台的基板并与该基板之表面几乎平行的1片或复数片的金属制蒐集板。蒐集板上系形成有复数个贯通开口。