帮浦系统;PUMPING SYSTEM

摘要

本发明系关于一种真空帮浦系统,其包括抽空一密封罩之复数个真空帮浦装置及藉由至少一第一真空帮浦装置抽空之一辅助真空舱。该真空帮浦系统具有抽空该密封罩之一第一状态及节省藉由该系统消耗之功率之一第二状态。在该第二状态之一第一阶段中,该第一真空帮浦装置经配置以抽空至少一第二真空帮浦装置之一排气装置,且在一第二阶段中,该第一帮浦装置之该排气装置经配置以藉由该辅助真空舱抽空。