一种雷射退火方法;A LASER ANNEALING METHOD

摘要

本发明公开了一种雷射退火方法，包括：由一雷射源提供一雷射光束；对所述雷射光束进行反射, 并予以会聚；使用该雷射光束对一基板表面的非晶矽区域进行快速扫描；其中，所述雷射光束以脉冲序列组的方式产生，所述脉冲序列组包括M组脉冲序列，每一组所述脉冲序列包括N个脉冲，其中，M和N均为大于1的自然数。本发明可以减少非晶矽氧化可能，改善矽基片电性，并且由于进行雷射退火的机台不再需要设置内部腔体，可以减少机台重量，机台保养上也变得较为容易。