外延结构体的制备方法

摘要

本发明涉及一种外延结构体的制备方法，其包括以下步骤：提供一基底，该基底具有一支援外延生长的外延生长面；在所述外延生长面生长一第一外延层；在所述第一外延层远离基底的表面设置一石墨烯层，所述石墨烯层具有复数空隙；以及在所述设置有石墨烯层的第一外延层表面生长一第二外延层。

主权项

一种外延结构体的制备方法，其包括以下步骤：提供一基底，该基底具有一支援外延生长的外延生长面；在所述外延生长面生长一第一外延层；在所述第一外延层远离基底的表面设置一石墨烯层，所述石墨烯层具有复数空隙；以及在所述设置有石墨烯层的第一外延层表面生长一第二外延层。