具有贯穿矽通孔的整合结构;AN INTEGRATED STRUCTURE WITH A SILICON-THROUGH VIA

摘要

提供一种具有贯穿矽通孔的整合结构,包含:基板;贯穿矽通孔,贯穿该基板;导电保护结构,围绕该贯穿矽通孔;第一与第二导电冗余图案,介于该贯穿矽通孔与该导电保护结构之间且具有不同的形状。