具有绝缘体下之互连件之绝缘体上半导体积体电路;SEMICONDUCTOR-ON-INSULATOR INTEGRATED CIRCUIT WITH INTERCONNECT BELOW THE INSULATOR

摘要

本发明描述一种制造在一绝缘体上半导体转移层上之积体电路。该积体电路包含制造在该绝缘体之背侧上之一互连层。此互连层透过该绝缘体中蚀刻之孔将主动装置彼此连接。此结构提供额外布局灵活性及较低电容,因此实现较高速度及较低成本之积体电路。