电光调制器及其制造方法;ELECTRO-OPTICAL MODULATOR AND METHOD FOR MAKING THEREOF

摘要

本发明涉及一种电光调制器,其包括基底、Y型光波导、第一电极组及第二电极组。该基底包括一顶面。该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成,并包括相互平行的主分支及调制分支。该第一电极组与该第二电极组的结构相同。该第一电极组包括相互平行的第一电极及第二电极。该第一电极位于该调制分支上。该第二电极相对于该调制分支远离该主分支。该第二电极组包括相互平行的第三电极及第四电极。该第三电极位于该主分支上。该第四电极相对于该主分支远离该调制分支。本发明还涉及一种电光调制器的制造方法。