发明名称 剥除器
摘要 一种剥除器,其包括杆体及工作头,其中工作头连接于杆体一端。杆体具有第一端及与第一端相对的第二端,且杆体具有通过第一端与第二端的轴线。工作头连接于第一端,并设有晶柱抵靠面及坩埚抵靠面。晶柱抵靠面平行于轴线,坩埚抵靠面设有第一斜面及第二斜面,其中第一斜面连接于晶柱抵靠面与第二斜面之间。第一斜面与晶柱抵靠面之间形成第一锐角,第二斜面与晶柱抵靠面之间形成第二锐角,且第二锐角小于第一锐角。
申请公布号 TWM489374 申请公布日期 2014.11.01
申请号 TW103210746 申请日期 2014.06.18
申请人 旭晶能源科技股份有限公司 发明人 林信宇;许胜宗;吴声尧
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 赖正健 台北市大安区敦化南路2段71号18楼;陈家辉 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项 一种剥除器,包括:一杆体,所述杆体具有一第一端及一相反于所述第一端的第二端,且所述杆体具有通过所述第一端与所述第二端的一轴线;及一工作头,所述工作头连接于所述第一端,所述工作头设有一晶柱抵靠面及一坩埚抵靠面,其中所述晶柱抵靠面平行于所述轴线,所述坩埚抵靠面包括一第一斜面及一第二斜面,其中所述第一斜面连接于所述晶柱抵靠面与所述第二斜面之间,所述第一斜面与所述晶柱抵靠面之间形成一第一锐角,所述第二斜面与所述晶柱抵靠面之间形成一第二锐角,且所述第二锐角小于所述第一锐角。
地址 台北市内湖区内湖路1段300号7楼之3 TW