基板处理方法及基板处理装置

摘要

本发明系向基板供给疏水化剂，使该基板之表面疏水化。其后，使基板乾燥。处理对象之基板自疏水化直至乾燥为止系保持为不接触水之状态。藉此，可抑制或防止形成于基板表面之图案之破坏。

主权项

一种基板处理方法，其包含：疏水化步骤，其系将疏水化剂之液体供给至基板而使上述基板之表面疏水化；乾燥前淋洗步骤，其系于上述疏水化步骤进行之后，将能够溶解上述疏水化剂、且表面张力小于水之溶剂供给至上述基板；乾燥步骤，其系于上述乾燥前淋洗步骤进行之后，使上述基板乾燥；及自上述疏水化步骤结束直至上述乾燥步骤结束为止，将上述基板保持为不接触水之状态的步骤。