| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Messsonde zur Messung der Dicke dünner Schichten, mit zumindest einem Sensorelement (14, 15), welches in dessen Längsachse (38) zur Messoberfläche (25) eines Messgegenstandes (26) weisend eine Aufsetzkalotte (31) aufweist, dem zumindest ein Messelement zugeordnet ist, wobei in Aufsetzrichtung (28) des zumindest einen Sensorelementes (14, 15) wirkend eine Dämpfungseinrichtung (17) vorgesehen ist, welche die Aufsetzbewegung des zumindest einen Sensorelementes (14, 15) in Richtung auf die Messoberfläche (25) des Messgegenstandes (26) dämpft.</p> |
