有機薄膜トランジスタのアレイ基板及び、その製造方法、並びに表示装置

摘要

有機薄膜トランジスタのアレイ基板の製造方法は、１回目のパターニング工程によって、透明基板上に、ソース電極、ドレイン電極、データライン及び画素電極を有するパターンを形成する工程と、２回目のパターニング工程によって、前記１回目のパターニング工程が行なわれた前記透明基板上に、有機半導体パターン、ゲート絶縁層パターン、ゲート電極及びゲートラインを有するパターンを形成する工程と、前記２回目のパターニング工程が行なわれた前記透明基板上にパッシベーション層を堆積し、３回目のパターニング工程によって、データライン・インターフェイス、ゲートライン・インターフェイス及び画素インターフェイスを有するパターンを形成する工程と、４回目のパターニング工程によって、前記３回目のパターニング工程が行なわれた前記透明基板上に、共通電極のパターンを形成する工程と、を備える。本発明によれば、有機薄膜トランジスタのアレイ基板において、生産効率が向上され、生産コストが低下された。