| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Polysilanen |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Polysilanen durch Umsetzung von Monosilan in Gegenwart von Wasserstoff in einem Plasma sowie eine Anlage zur Durchführung des Verfahrens. |
| 申请公布号 |
DE102013207443(A1) |
申请公布日期 |
2014.10.30 |
| 申请号 |
DE201310207443 |
申请日期 |
2013.04.24 |
| 申请人 |
EVONIK DEGUSSA GMBH |
发明人 |
LANG, JÜRGEN ERWIN;RAULEDER, HARTWIG;MÜH, EKKEHARD |
| 分类号 |
C01B33/04 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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