プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法

摘要

本発明は、プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法を提供する。プラズマ発生装置は、誘電体窓を有し、トロイダル形の放電空間を有するチャンバと、チャンバの一部を包むように配置される磁性体コアと、磁性体コアを包むように配置される誘導コイルと、誘電体窓を通して超高周波を放射する導波管と、を含む。誘導コイルに流れる交流電流は、磁性体コアに磁束を形成し、磁束は、前記チャンバ内部に誘導結合プラズマを形成し、導波管に沿って進行する超高周波は、チャンバに超高周波プラズマを形成する。【選択図】図１