| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung (10), einem Antriebskörper (12) mit mindestens einer daran angeordneten Spuleneinrichtung (16), welcher über mindestens eine Feder (20) so mit der Halterung (10) verbunden ist, dass der Antriebskörper (12) aufgrund einer Wechselwirkung eines durch die mindestens eine Spuleneinrichtung (16) geleiteten Stroms und eines an der mindestens einen Spuleneinrichtung (16) vorliegenden Magnetfelds (24) in eine Antriebsbewegung versetzbar ist, und einem Stellelement (14), welches so mit dem Antriebskörper (12) verbunden ist, dass das Stellelement (14) mittels des in die Antriebsbewegung versetzten Antriebskörpers (12) in eine Auslenkbewegung mit zumindest einer um eine Drehachse (32) gerichteten Bewegungskomponente versetzbar ist, wobei der Antriebskörper (12) und das Stellelement (14) über das mindestens eine Verbindungselement (28, 30) so zueinander angeordnet sind, dass die Drehachse (32) beabstandet von einem Schwerpunkt (S) des Antriebskörpers (12) verläuft. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.</p> |
