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Raster-Partikelstrahlmikroskop, aufweisend ein partikeloptisches System, das ein Objektiv aufweist zur Fokussierung eines Primärstrahls des Raster-Partikelstrahlmikroskops auf einen Objektbereich des partikeloptischen Systems. Das Raster-Partikelstrahlmikroskop weist ein Detektorsystem auf, das eine partikeloptische Detektorkomponente aufweist zur Erzeugung eines elektrostatischen Feldes in einem Strahlengang der emittierten Partikel. Das Feld ist zumindest teilweise außerhalb eines Objektivfeldes des Objektivs angeordnet. Das Detektorsystem ist ausgebildet, die emittierten Partikel nach einem Durchgang durch das Feld räumlich zu filtern und einen Anteil der gefilterten emittierten Partikel zu detektieren. Die partikeloptische Detektorkomponente ist so ausgebildet, dass die räumliche Filterung die emittierten Partikel nach einer kinetischen Energie der emittierten Partikel filtert. |
