一种激光跟踪测量装置

摘要

本实用新型提供一种激光跟踪测量装置，包含：激光干涉仪、角锥棱镜、偏振分光棱镜、分光棱镜、干涉滤光片、光电位置传感器、信号处理板、跟踪控制板、跟踪转镜、伺服电机和猫眼逆反射镜；所述激光干涉仪的光路经偏振分光棱镜分为两路：基准光路和测量光路；在所述基准光路上设置角锥棱镜，基准光路上的光束经角锥棱镜反射后沿原光路返回；所述测量光路上依次设置分光棱镜、跟踪转镜和猫眼逆反射镜；所述分光棱镜的另一输出光路上设置一干涉滤光片，且干涉滤光片将返回的测量光路信号输入至光电位置传感器，该光电位置传感器将信号依次输入信号处理板和跟踪控制板进行处理，跟踪控制板将信号输入伺服电机，进一步控制跟踪转镜的翻转。

主权项

一种激光跟踪测量装置，包含：激光干涉仪(1)，其特征在于，所述的激光测量装置还包含：角锥棱镜、偏振分光棱镜、分光棱镜、干涉滤光片、光电位置传感器(2)、信号处理板(3)、跟踪控制板(4)、跟踪转镜(7)、伺服电机(5)和猫眼逆反射镜(6)；所述激光干涉仪(1)的光路经偏振分光棱镜分为两路：基准光路和测量光路；在所述基准光路上设置角锥棱镜，基准光路上的光束经角锥棱镜反射后沿原光路返回；所述测量光路上依次设置分光棱镜、跟踪转镜(7)和猫眼逆反射镜(6)，测量光路上的光束经猫眼逆反射镜(6)反射至跟踪转镜(7)，再经跟踪转镜(7)反射至分光棱镜分为两路，一路经分光棱镜透射后沿原光路返回至激光干涉仪(1)中，并与基准光路上的光束汇合；所述分光棱镜的另一输出光路上设置一干涉滤光片，且干涉滤光片将返回的测量光路信号输入至光电位置传感器(2)，光电位置传感器(2)的输出端依次与信号处理板(3)和跟踪控制板(4)相连接，跟踪控制板(4)的输出端又与伺服电机(5)相连，所述伺服电机(5)依据跟踪控制板(4)的输出信号进一步控制跟踪转镜(7)的翻转。