一种大行程柱坐标双光子聚合加工装置

摘要

本实用新型涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工装置，属于微纳制造技术领域。包括支座、大理石、振镜箱体、x轴溜板与气浮直线导轨一滑动连接，直线电机一与气浮直线导轨一连接，C轴转台叠放在x轴溜板上，底座与C轴转台固定连接，z轴溜板与气浮直线导轨二滑动连接，直线电机与气浮直线导轨二连接，气浮直线导轨二连接在底板上，z轴溜板上通过内六角圆柱头螺钉安装有气缸连接座，气缸的缸体通过螺纹安装在气缸安装座上，振镜箱体通过4个内六角圆柱头螺钉安装在z轴溜板上，二维振镜安装在振镜支座上。优点是结构新颖，避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径，实现大面积三维微纳结构的快速加工。

主权项

一种大行程柱坐标双光子聚合加工装置，其特征在于支座通过个内六角圆柱头螺钉连接在大理石床身上，支座上安装有分光镜，反射镜三与振镜箱体固连在一起，x轴溜板与气浮直线导轨一滑动连接，直线电机一与气浮直线导轨一连接、并安装在大理石床身上，C轴转台叠放在x轴溜板上，底座与C轴转台固定连接，z轴溜板与气浮直线导轨二滑动连接，直线电机与气浮直线导轨二连接，气浮直线导轨二连接在底板上，底板通过6个内六角圆柱头螺钉连接在大理石床身上，z轴溜板上通过内六角圆柱头螺钉安装有气缸连接座，气缸的活塞杆通过螺母安装在气缸连接座上，气缸的缸体通过螺纹安装在气缸安装座上，气缸安装座通过2个内六角圆柱头螺钉安装在底板上，振镜箱体通过4个内六角圆柱头螺钉安装在z轴溜板上，二维振镜安装在振镜支座上，该振镜支座通过2个内六角圆柱头螺钉安装在振镜箱体上，显微物镜与振镜箱体螺纹连接，反射镜一、反射镜二安装在大理石床身上。