衬底接合设备和使用所述衬底接合设备的衬底接合方法

摘要

本发明提供一种衬底接合设备以及一种衬底接合方法，衬底接合设备包含：放置有一对衬底的平台，其中在所述衬底之间具有密封胶线；将光发射于所述密封胶线上的光辐照器；水平地安置于所述衬底的上侧周围以使得所述光辐照器沿着所述线移动的第一轨道；以及与所述第一轨道交叉以移动所述光辐照器以便对应于所述线的上侧的第二轨道。因此，第一移动零件使得有可能水平地移动光辐照器以将线形光发射于密封胶线上。因此，密封胶线可被连续固化，且密封胶线的辐照区可增大，借此减少衬底的接合时间。另外，第二移动零件使得所述光辐照器可根据密封胶线的位置改变来移动。因此，可在不使用掩模的情况下在各种位置处固化所述密封胶线，且可节省掩模成本。

主权项

一种衬底接合设备，其包括：放置有衬底的平台；沿着形成于所述衬底上的特定线发光的光辐照器；安置于所述衬底的上侧周围以使得所述光辐照器沿着所述线移动的第一轨道；以及与所述第一轨道交叉的第二轨道，所述第二轨道自所述平台的外部延伸至所述平台的内部。