热处理方法及热处理装置

摘要

本发明的辊道窑具备：炉体，其形成第一空间；壁体，在其内部形成与第一空间连通的第二空间，并具有第一壁部、第二壁部。另外，可以在第一空间内搬运被处理物的旋转体从该第一空间侧朝向外部空间依次贯通第一壁部、第二空间、及第二壁部，而使其一端从第二壁部突出。在第一壁部设置有第一轴承，其可旋转地支撑旋转体且具有气体可以向旋转体的贯通方向流通的间隙。另外在第二壁部设置有第二轴承，其可旋转地支撑旋转体且密封性与第一轴承相比更高。在第二空间，从第二空间供应口供应比第一空间的气氛的压力更高的气体。

主权项

一种使用热处理装置的热处理方法，所述热处理装置具备：炉体，其形成作为处理空间的第一空间；壁体，在其内部形成与所述第一空间连通的第二空间，并具有第一壁部、第二壁部、及可以从外部向所述第二空间内供应气体的第二空间供应口；旋转体，其可以在所述第一空间内搬运被处理物，并从该第一空间侧朝向外部空间依次贯通所述第一壁部、所述第二空间、及所述第二壁部，而使其一端从该第二壁部突出；驱动单元，其与所述旋转体的所述一端侧连接并可以使该旋转体进行旋转驱动；第一轴承，其设置在所述旋转体贯通所述第一壁部的部分，是可旋转地支撑该旋转体且具有可以使气体向所述旋转体的贯通方向流通的间隙的滚动轴承，及密封构件，其设置在所述旋转体贯通所述第二壁部的部分，并且密封性与所述第一轴承相比更高，其中，所述热处理方法包括通过所述驱动单元使所述旋转体进行旋转驱动来在所述处理空间搬运所述被处理物的同时对其进行热处理的工艺，在所述工艺中，经由所述第二空间供应口向所述第二空间内供应与所述第一空间的气氛相比压力更高的气体。