Microelectromechanical and/or nanoelectromechanical structure with ajustable quality factor

摘要

Capteur inertielle comportant une partie fixe (8) et au moins une masse suspendue (6) par rapport à la partie fixe (8) et des moyens d'amortissement (4) du déplacement de la partie suspendue (6) par rapport à la partie fixe (8), lesdits moyens d'amortissement (4) étant des moyens d'amortissement électromécaniques comportant une source d'alimentation continue (14), une résistance électrique (R) et un condensateur à capacité variable (C) en série, ledit condensateur à capacité variable (C) étant formé en partie par la partie suspendue (6) et en partie par la partie fixe (8) de sorte qu'un déplacement de la partie suspendue(6) provoque une variation de capacité du condensateur à capacité variable (C).