垂直型基板剥离装置

摘要

本发明涉及印刷电路板（PCB）的制造工序中在进行曝光后用药液清除固化部分的剥离技术，所提供的垂直型基板剥离装置相关技术因在剥离室内部以垂直状态移送基板的过程中将药液喷射于基板来执行剥离工序，可以在进行连续性的剥离作业的同时缩短剥离工序所消耗的时间，并以垂直状态移送基板的同时通过喷射药液来进行剥离，从而能进一步提高工序生产率，本发明的实施例的主要构成包括：由封闭形态的剥离室和在所述剥离室内部以垂直状态移送基板的搬运装置、在所述剥离室给垂直移送的基板均匀喷射药液的喷射装置、搜集在所述剥离室的内部空间给基板喷射的药液，将药液泵送到喷射装置的泵送装置。

主权项

一种垂直型基板剥离装置，其特征在于，包括：框架（11）式封闭形态的剥离室（10）和在剥离室（10）内以垂直状态移送基板（P）的搬运装置（20）、给所述剥离室（10）内以垂直状态移送的基板（P）上均匀喷射药液的喷射装置（30）、搜集在所述剥离室（10）内部给基板（P）喷射的药液，将药液泵送到喷射装置（30）的泵送装置（40）。