一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法

摘要

本发明公开了一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法，采用以下技术方案：先线切割废砂浆进行分级离心分离，在所得到固体混合物中进行搅拌稀释，得到混合砂粉；加入溶液进行浮选和重力分选，回收沉淀物，进行磁选分离，搅拌，反应，去除杂质，加入氢氧化钠进行碱洗，得到具有切割性能的碳化硅微粒；将所回收滤液合并，加入氯化铝二聚体，进入真空蒸馏装置回收，剩余溶液进行超精细过滤，得到滤液根据原切割液组成进行补充调节，投入使用。本发明提供的一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法，碳化硅粉含量高于99％，本发明工艺简洁，操作可控，经济性能优异且无二次污染。可使切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50％。

主权项

一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)先将线切割废砂浆进行分级离心分离，得到固体混合物、滤液；(2)在所得到固体混合物中加入二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释，洗除悬浮杂质，过滤，乙醇洗涤，再次过滤，得到混合砂粉，回收滤液重复利用；(3)对上述所得砂粉，加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选，回收沉淀物，该过程重复多次，然后用乙醇洗涤，干燥，得到碳化硅/金属混合物；(4)对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离，去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基，含Cr、Ni、Ti、Mn多种合金元素的金属杂质，加入氢氟酸溶液，搅拌，反应，去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质，加入重量浓度为2～20％的氢氧化钠进行碱洗，再水洗，烘干，筛选，得到具有切割性能的碳化硅微粒；(5)将步骤(1)、(2)所回收滤液合并，加入氯化铝二聚体，搅拌均匀，过滤，进入真空蒸馏装置回收二硫化碳，乙醇，水，三溴甲烷，剩余溶液进行超精细过滤，得到滤液根据原切割液组成进行补充调节，投入使用。