发明名称 压电陶瓷材料、烧结体、压电陶瓷器件及其制备方法
摘要 本发明提供一种压电陶瓷材料,其至少含有铅、锆和钛的复合氧化物,所述压电陶瓷材料含有用化学通式Pb<sub>a</sub>Ba<sub>1-a</sub>(Nb<sub>b</sub>Sb<sub>b</sub>Sr<sub>1-2b</sub>)<sub>x</sub>Zr<sub>y</sub>Ti<sub>1-x-y</sub>O<sub>3</sub>表示且满足如下关系的主要组分:0.8≤a≤0.95,0.1≤b≤0.2,0.03≤x≤0.1,0.45≤y≤0.55。本发明的压电陶瓷材料具有高压电系数,在保持形变量不变的前提下,降低输入电压,或者使压电元器件在保持输入电压不变的前提下,提高能量转换效率,获得更大的形变。同时本发明还提供上述压电陶瓷材料的制备方法、压电陶瓷烧结体及采用所述压电陶瓷材料的器件,所述制备方法工艺简单、配方可调、利于批量工业化生产。
申请公布号 CN103073289B 申请公布日期 2014.10.29
申请号 CN201310027642.6 申请日期 2013.01.25
申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声精密制造科技(常州)有限公司 发明人 苏绍华
分类号 C04B35/493(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I 主分类号 C04B35/493(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种压电陶瓷的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:配料:提供由化学通式Pb<sub>a</sub>Ba<sub>1‑a</sub>(Nb<sub>b</sub>Sb<sub>b</sub>Sr<sub>1‑2b</sub>)<sub>x</sub>Zr<sub>y</sub>Ti<sub>1‑x‑y</sub>O<sub>3</sub>表示,且满足0.8≤a≤0.95,0.1≤b≤0.2;0.03≤x≤0.1,0.45≤y≤0.55关系的主要组分及添加成分并分别烘干;混料:按照上述化学通式的重量配比混合以形成含有Pb、Zr、Ti、Nb、Sb、Sr、Ba的氧化物或者碳酸盐的混合物并烘干;合成:将上述混料后的混合物在1000摄氏度至1050摄氏度高温环境中煅烧以合成;粉碎:粉碎上述煅烧后合成混合物,以得到粉末并烘干;制浆:向上述粉碎后的粉末中加入粘结剂、增塑剂、分散剂、溶剂并混合以形成陶瓷浆料;成型:除泡后流延形成陶瓷薄膜;叠置:将成型后的陶瓷薄膜层叠设置形成层压产物;烧结:在1150摄氏度至1200摄氏度环境中保温三小时烧制所述层压产物形成烧结产物;被电极及极化处理:将上述烧结产物被电极,然后置于130℃的硅油中,施加5KV/mm的直流电场并极化1min,然后除去电场得到压电陶瓷。
地址 518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研基地A座
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