| 发明名称 | 排气环组件以及包含其的基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基板处理装置。上述基板处理装置包括：处理腔；卡盘，其位于上述处理腔的内部，且支持基板；挡板，与上述卡盘相对地配置于上述卡盘的上部，且形成有可分配提供至上述处理腔内部的工艺气体的分配孔；以及侧部排气环，其位于比上述卡盘更高的位置，环绕经上述分配孔的工艺气体流入的处理空间，且其为形成有排气孔的环状。 | ||
| 申请公布号 | CN104124187A | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
| 申请号 | CN201410166157.1 | 申请日期 | 2014.04.23 |
| 申请人 | PSK有限公司 | 发明人 | 梁承国 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 杨生平;钟锦舜 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，其特征在于，包括：处理腔；卡盘，其位于所述处理腔的内部，且支持基板；挡板，与所述卡盘相对地配置于所述卡盘的上部，且形成有可分配提供至所述处理腔内部的工艺气体的分配孔；以及侧部排气环，其位于比所述卡盘更高的位置，环绕经所述分配孔的工艺气体流入的处理空间，且其为形成有排气孔的环状。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||