多晶硅生产废气淋洗废水处理装置

摘要

本实用新型公开了多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，包括：一缓冲罐，用于缓存多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，一淋洗塔，与缓冲罐连接，所述淋洗塔内喷淋碱液，一污泥池，存储安全循环池排出的淋洗废碱水，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池，一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池，将污泥池内的物质打入压滤机进行至少一次压滤，一一次压滤机，所述一次压滤机连接第一泵体，压滤出来的滤渣外运，上清液放置中间水池内，一加酸造渣装置，所述加酸造渣装置连接中间水池，同时通过管道连接一盐酸注入装置。经盐酸注入装置注入盐酸，将加酸造渣装置中的废水PH调节至6—9，再次进行第二次压滤，最终将产生的滤渣外运和将上清液外排。本实用新型占地面积小，处理污水能力强，处理程度高，经处理后可将淋洗废碱水达标排放，做到对环境完全无害，同时还较好的利用了生产过程产生的废酸，节约了生产成本。

主权项

多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于，包括： 一缓冲罐，用于装入多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气， 一与缓冲罐连接的淋洗塔，所述淋洗塔内喷淋碱液， 一污泥池，吸收淋洗塔落下的淋洗液，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池， 还包括一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池。