长晶炉使用之钨坩埚修整装置和方法

摘要

本发明公开一种长晶炉使用之钨坩埚修整装置，包括反应室、加热器和反应气管；反应室具CVD(chemical vapor deposition化学蒸汽沉积)腔体，反应室的上方安装反应气管，反应气管的一端伸露在CVD腔体外用于连接供气管，而反应气管的另一端伸入CVD腔体内且该端上开设若干气孔，反应室的下方开设排废口，排废口通过管道连接至泵；加热器置于CVD腔体中，加热器安装在由电机带动旋转的柱子上，加热器上具有供坩埚旋转的置物台。本发明还公开了长晶炉使用之钨坩埚修整方法。本发明可以修补因重复使用变薄的钨坩埚，让变薄的坩埚壁加厚，回复其原本之保温效果，减少能耗的问题。

主权项

长晶炉使用之钨坩埚修整装置，其特征在于：包括反应室、加热器和反应气管；反应室具CVD腔体，反应室的上方安装反应气管，反应气管的一端伸露在CVD腔体外用于连接供气管，而反应气管的另一端伸入CVD腔体内且该端上开设若干气孔，反应室的下方开设排废口，排废口通过管道连接至泵；加热器置于CVD腔体中，加热器安装在由电机带动旋转的柱子上，加热器上具有供坩埚旋转的置物台。