一种Ag/TiO₂纳米复合变色材料制备方法

摘要

本发明涉及一种Ag/TiO₂纳米复合变色材料制备方法，采用活性磁控溅射技术沉积制备Ag纳米颗粒分散在TiO2基质中的纳米复合材料。在一定的活性磁控技术条件下沉积TiO₂金属氧化物时，下层的Ag膜由于等离子体中活性氧的作用形成Ag纳米结构，从而形成Ag/TiO₂结构。

主权项

一种Ag/TiO₂纳米复合变色材料制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一：沉积TiO₂膜采用JGP450型磁控溅射镀膜机，该镀膜机配备有2个射频溅射靶，Ag膜的溅射使用99.99％纯度的Ag金属靶，TiO₂膜的溅射使用99.9％纯度TiO₂烧结多晶靶材，频率为13.56MHz，溅射气体为Ar；首先将真空室抽至1×10^‑4pa，溅射气压为0.025mbar，射频溅射功率为50W，玻璃基板用丙酮、乙醇和二次去离子水超声波清洗15min，之后沉积TiO₂，TiO₂沉积的厚度约为10nm，所述TiO₂的沉积条件为室温，射频输出功率(W)为100，真空度(mbar)为0.025，Ar流速(sccm)为8；步骤二：沉积Ag膜于室温下在Ar流量为8sccm下玻璃上沉积30s的Ag膜；步骤三，沉积TiO₂膜；将步骤一中沉积了Ag膜的基体上再次沉积TiO₂，所沉积的厚度为50‑100nm，所述TiO₂的沉积条件为于室温下，射频输出功率(W)为150，真空度(mbar)为0.025，Ar流速(sccm)为7，氧气流速(sccm)为1；制得Ag/TiO₂纳米复合变色材料。