一种半导体芯片测试探针台

摘要

本实用新型涉及测试设备领域，具体的说是涉及一种半导体芯片测试探针台，它包括探针台主体、探针和打点器、显微镜组件，所述探针台主体包括底座、承片台、探针和打点器安装盘、显微镜支架，移动机构安装在底座上，所述探针台主体还包括片台移动手柄、片台高度手柄、片台转动手轮，所述片台移动手柄安装于底座右边上，并与承片台上的轴承连接，所述片台高度手柄、片台转动手轮设置有底座的左侧，所述片台高度手柄与承片台的底板连接，通过旋转片台高度手柄控制承片台的升降，所述片台转动手轮连接在承片台的左侧轴承上，控制承片台旋转。

主权项

一种半导体芯片测试探针台, 它包括探针台主体（10）、探针和打点器（11）、显微镜组件（12），所述探针台主体包括底座（20）、承片台（21）、探针和打点器安装盘（23）、显微镜支架（24），移动机构安装在底座（20）上，其特征在于：所述探针台主体还包括片台移动手柄（22）、片台高度手柄（25）、片台转动手轮（26），所述片台移动手柄（22）安装于底座（20）右边上，并与承片台（21）上的轴承连接，所述片台高度手柄（25）、片台转动手轮（26）设置有底座（20）的左侧，所述片台高度手柄（25）与承片台（21）的底板连接，通过旋转片台高度手柄（25）控制承片台（21）的升降，所述片台转动手轮（26）连接在承片台（21）的左侧轴承上，控制承片台（21）旋转。