一种全自动硅片清洗机

摘要

本实用新型公开了一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，采用上述结构，本实用新型提供了一种不仅可有效提高生产效率，而且在搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。

主权项

一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，其特征在于：所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，所述搬运勾手的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂上的C形卡块，且所述C形卡块的开口端两侧平行延伸有两凸块，两凸块之间通过螺栓锁紧固定，所述搬运勾手的下端端部对应形成倒钩，所述的花篮由用于承载硅片的篮体和用于提拉的横梁连接构成，所述的篮体上均布有若干个漏水孔，所述的横梁上设有可与所述搬运勾手上的倒钩形成钩配的凹口。