| 发明名称 | 回形多叉指场效应晶体管及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种抗总剂量、微剂量辐射的回行多叉指器件及其制备方法。本发明的回行多叉指器件包括：衬底；在衬底上的浅槽隔离区；在衬底上且被STI区包围的有源区；栅为一条盘绕在有源区上的折线或曲线，栅的两端分别过覆盖STI区；以及覆盖在栅介质上的栅电极材料。本发明在保证较大沟道宽度、较小有源区面积、源漏完全对称的同时，可以有效的减少辐照引起的位于源漏之间的泄漏通道的数目，有效提高器件的抗总剂量辐射、抗微剂量辐射的能力。 | ||
| 申请公布号 | CN104124275A | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
| 申请号 | CN201410356251.3 | 申请日期 | 2014.07.24 |
| 申请人 | 北京大学 | 发明人 | 黄如;武唯康;安霞;刘静静;陈叶华;张曜;张兴 |
| 分类号 | H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人 | 朱红涛 |
| 主权项 | 一种回形多叉指场效应晶体管，其特征是，所述的回形多叉指场效应晶体管包括：衬底(1)，在衬底上的浅槽隔离区STI(5)，在衬底上且被STI区包围的有源区(6)，栅为一条盘绕在有源区上的折线或曲线，栅的两端分别过覆盖STI区，称为回形栅(7)，以及覆盖在栅介质上的栅电极材料(4)。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区颐和园路5号 | ||