保护膜检测装置

摘要

一种保护膜检测装置，在被加工物的加工面覆盖保护膜时，能确认是否整面地覆盖了保护膜。具备：保持工作台，保持在表面覆盖有保护膜的被加工物；水蒸气喷射构件，向在保持工作台上保持的被加工物的表面喷射水蒸气；摄像构件，对利用水蒸气喷射构件喷射过水蒸气的被加工物的整个表面进行摄像；检测构件，根据摄像构件拍摄到的表面的图像信息，通过图像处理来基于覆盖区域与非覆盖区域的光的强度差来检测非覆盖区域，覆盖区域是覆盖有保护膜的区域，而在非覆盖区域，由于未覆盖保护膜而有水蒸气附着，因而形成水滴的凹凸，产生光的散射；和报知构件，在由检测构件检测到非覆盖区域时报知这一信息，该保护膜检测装置防止在存在非覆盖区域的状态下从被加工物的表面侧实施激光加工而导致碎屑附着在非覆盖区域。

主权项

一种保护膜检测装置，其对在被加工物的表面是否覆盖有保护膜进行检测，所述保护膜检测装置具备：保持工作台，其保持在表面覆盖有该保护膜的被加工物；水蒸气喷射构件，其向在该保持工作台上保持的被加工物的该表面喷射水蒸气；摄像构件，其对利用该水蒸气喷射构件喷射过水蒸气的该被加工物的整个该表面进行摄像；检测构件，其根据由该摄像构件拍摄到的该表面的图像信息，通过图像处理基于覆盖区域与非覆盖区域的光的强度差，来检测该非覆盖区域，所述覆盖区域是覆盖有保护膜的区域，在所述非覆盖区域由于未覆盖该保护膜而有水蒸气附着，因而形成水滴的凹凸，产生光的散射；以及报知构件，其在由该检测构件检测到了该非覆盖区域的情况下，报知这一信息。