一种计量型高精度x射线显微镜扫描样品台

摘要

本发明公开了一种计量型高精度x射线显微镜扫描样品台，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，扫描转台(2)提供被扫描样品所需的旋转扫描运动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装径向跳动误差测量传感器(4)与轴向跳动误差和摆动误差测量传感器组(5)，样品架(8)固定于y方向平台之上；可实现样品扫描台旋转过程中转轴的径向误差、轴向误差与转轴摆动误差的实时测量，所测量的误差结果可以用来对样品运动进行误差修正，解决了扫描样品台由于精度误差导致三维图像重构失真的难题。

主权项

一种计量型高精度x射线显微镜扫描样品台，其特征在于，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，扫描转台(2)提供被扫描样品所需的旋转扫描运动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，三维定位平台包括三个可分别沿x、y、z方向自由移动的平台，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装径向跳动误差测量传感器(4)与轴向跳动误差和摆动误差测量传感器组(5)，样品架(8)固定于y方向平台之上；轴向跳动误差和摆动误差测量传感器组(5)包括两个传感器，所述两个传感器沿固定底座(1)的对称中心对称分布；所述两个传感器输出值的平均值即为测得的扫描转台(2)的轴向跳动误差；所述两个传感器输出值的差值即为扫描转台(2)的摆动误差；径向跳动误差测量传感器(4)用于测量出扫描过程中扫描转台(2)转轴发生径向跳动引起的径向跳动误差；根据所述轴向跳动误差、所述摆动误差、所述径向跳动误差，消除由误差导致的图像失真。