检查用探针及检查用夹具

摘要

本发明提供一种能够应对基板的微细化及复杂化，并能够减少零件数量以简化，且具有充分的接触压与行程的微细探针及使用该探针的检查用夹具。检查用探针的特征在于，利用分别形成在具有不同外径与内径的两支导电性的筒状部件上的缺口部分别作为弹性部发挥作用，以这些弹性部并联配置或串联配置的方式组合两支筒状部件，由此成为具有检查所需的接触压与收缩量的检查用探针。

主权项

一种检查用夹具，其电连接被检查物和检查装置，该被检查物成为被检查对象并具有多个检查点，该检查装置检查上述检查点间的电气特性，上述检查用夹具的特征在于，具备：电极体，其具有多个与上述检查装置电连接的电极部；检查用探针，其电连接上述电极部与上述检查点；以及保持体，其具有第一板状部件和第二板状部件并保持该检查用探针，上述第一板状部件将上述检查用探针的一端引导至上述电极部，上述第二板状部件将上述检查用探针的另一端引导至上述检查点，上述检查用探针具有：外侧筒体，其一端开口抵接于上述第二板状部件；以及内侧筒体，其同轴地配置在上述外侧筒体的内部，并且从该外侧筒体的一端开口延伸出来被配置，上述外侧筒体具有：外侧下筒部，其具有与上述第二板状部件抵接的一个开口部；第一缺口部，其与上述外侧下筒部的另一个开口部连通连结并且形成为与该外侧下筒部相同直径的筒状，并且在该筒状的壁面上具备长轴方向的螺旋状缺口；以及外侧上筒部，其形成为与上述第一缺口部相同直径的筒状，并且与该第一缺口部连通连结，上述内侧筒体具有：内侧下筒部，其具有与上述检查点电连接的一个开口部；第二缺口部，其与上述内侧下筒部的另一个开口部连通连结并且形成为与该内侧下筒部相同直径的筒状，并且在该筒状的壁面上具备长轴方向的螺旋状缺口；以及内侧上筒部，其形成为与上述第二缺口部相同直径的筒状，并且与该第二缺口部连通连结，上述外侧筒体与上述内侧筒体具有在上述外侧下筒部与上述内侧下筒部固定的固定部，在将上述内侧筒体的内侧下筒部压接于上述检查点来实施检查时，由该检查点与上述电极体来夹持上述内侧筒体与上述外侧筒体，使上述第一缺口部与上述第二缺口部收缩。