棱镜光学系统、照明光学系统、曝光设备和装置制造方法

摘要

本发明涉及棱镜光学系统、照明光学系统、曝光设备和装置制造方法。被配置为改变光束的截面形状的棱镜光学系统包括光入射表面、光出射表面以及外侧面。光入射表面包括凹锥面，光出射表面包括凸锥面，并且外侧面包括用于反射从光入射表面进入外侧面的光的反射表面。

主权项

一种照明光学系统，包括棱镜光学系统，所述棱镜光学系统被配置为改变光束的截面形状，所述照明光学系统被配置为照射待照射面，其中所述棱镜光学系统包括光入射表面、光出射表面以及从光入射表面侧延伸到光出射表面侧的外侧面，所述光入射表面包括凹锥面，所述光出射表面包括凸锥面，以及所述外侧面包括用于反射从光入射表面进入所述外侧面的光的反射表面。