| 发明名称 | 镀膜设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种镀膜设备，用于对基板执行镀膜工艺，所述镀膜设备包括：转盘；传送室，包括沿所述转盘外周配置的多个腔体，所述多个腔体包括进料腔体、至少一用于非金属镀膜的非金属镀膜腔体、至少一用于金属镀膜的金属镀膜腔体和出料腔体；以及传送装置，设置于所述转盘内，所述传送装置能够自所述传送室的其中一腔体取出所述基板，传送至其他腔体。本发明加快了产品的生产效率，简化了制程，节省了无尘室空间。 | ||
| 申请公布号 | CN104120389A | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
| 申请号 | CN201410379728.X | 申请日期 | 2014.08.04 |
| 申请人 | 上海和辉光电有限公司 | 发明人 | 郭世佳;刘滔滔;王云靖 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 赵根喜;李昕巍 |
| 主权项 | 一种镀膜设备，用于对基板执行镀膜工艺，其特征在于，所述镀膜设备包括：中央转盘；传送室，包括沿所述中央转盘外周配置的多个腔体，所述多个腔体包括进料腔体、至少一用于非金属镀膜的非金属镀膜腔体、至少一用于金属镀膜的金属镀膜腔体和出料腔体；以及传送装置，设置于所述中央转盘内，所述传送装置能够自所述传送室的其中一腔体取出所述基板，传送至其他腔体。 | ||
| 地址 | 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 | ||