石墨载板

摘要

本实用新型公开了一种石墨载板，包括石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开；所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内；其中：所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162-166mm，倒角的直径为212-216mm。从而可通过金属挂钩将更大尺寸的硅片支撑在镂空区域内，以适应更大尺寸的硅片的要求；同时由于石墨框镂空区域尺寸与硅片尺寸非常接近两者之间的间隙很小较少了反应气体有硅片正面蔓延的硅片背面的几率，因此也减少了平板PECVD镀膜时硅片边缘的色差，降低了由于背面反镀造成的产品质量降低的现象。

主权项

一种石墨载板，用于板式PECVD工序中，其特征在于，包括：石墨板，所述石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开；所述间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩；硅片通过所述金属挂钩放置于所述镂空区域内；其中：所述镂空区域呈四角具有倒角的正方形，正方形的边长为162‑166mm，倒角的直径为212‑216mm。