ボンディングキャピラリ

摘要

【課題】耐磨耗性の向上を図ることができるボンディングキャピラリを提供する。【解決手段】酸化アルミニウムの結晶を主相とする多結晶セラミックスを含み、前記多結晶セラミックスの中におけるポアの占有率が９０ｐｐｍ以下であり、かつ、径が３μｍ以上のポアが１３個／ｍｍ２以下であることを特徴とするボンディングキャピラリが提供される。【選択図】図１