液体喷射头及其制造方法

摘要

液体喷射头及其制造方法。提供一种液体喷射头的制造方法，液体喷射头包括喷射口构件，喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，该方法包括：准备设置有树脂层的基板，其中树脂层含有光固化性树脂；执行第一曝光处理和第二曝光处理，其中第一曝光处理和第二曝光处理均是使树脂层进行曝光的曝光处理；以及在进行了第一曝光处理和第二曝光处理的树脂层中形成喷射口。喷射口的通过第一曝光处理所形成的侧壁相对于基板的倾斜角与喷射口的通过第二曝光处理所形成的侧壁相对于基板的倾斜角不同。

主权项

一种液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头包括喷射口构件，所述喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，所述方法包括：准备设置有树脂层的基板，其中所述树脂层含有光固化性树脂；执行第一曝光处理和第二曝光处理，其中所述第一曝光处理和所述第二曝光处理均是使所述树脂层进行曝光的曝光处理；以及在进行了所述第一曝光处理和所述第二曝光处理的所述树脂层中形成所述喷射口，其中，所述喷射口的通过所述第一曝光处理所形成的侧壁相对于所述基板的倾斜角与所述喷射口的通过所述第二曝光处理所形成的侧壁相对于所述基板的倾斜角不同；所述喷射口具有沿与所述排列方向正交的正交方向的侧壁；所述第一曝光处理是如下的处理：使所述树脂层的与沿所述正交方向的侧壁对应的部分进行曝光，使得比值b/a等于或者大于1，其中，“a”表示所述喷射口的正面侧开口的在所述排列方向上的宽度，“b”表示所述喷射口的背面侧开口的在所述排列方向上的宽度；所述第二曝光处理是如下的处理：使所述树脂层的与除沿所述正交方向的侧壁以外的其他侧壁对应的部分进行曝光，使得比值d/c大于1，其中，“c”表示所述喷射口的正面侧开口的在所述正交方向上的宽度，“d”表示所述喷射口的背面侧开口的在所述正交方向上的宽度；并且所述比值d/c大于所述比值b/a。