发明名称 |
一种提高单晶硅晶圆抛光片保质期的包装工艺 |
摘要 |
本发明涉及单晶硅晶圆片的包装工艺,尤其涉及一种提高单晶硅晶圆抛光片保质期的包装工艺。本工艺将热塑包装机设定真空度-5KPa;设定包装的加热温度为140℃;设定包装的冷却温度为70℃;设定冷却时间为3s;其步骤是:一、将洁净的抛光片放入片盒内,扣好盒盖;二、将片盒缠好白胶带后放入内包袋进行包装;三、对内包袋进行热塑封装后,抽真空;四、在内包袋外固定干燥剂;五、将内包袋再放入外包袋中,对外包袋进行热塑封装后,抽真空。采用本工艺包装抛光片能解决抛光片颗粒增长问题,可以使抛光片保质期稳定延长,达到表面0.3μm以上颗粒≤5个、保质期一年以上的国际领先水平,由此制备出了具有市场竞争力的高保质期的单晶硅晶圆抛光片。 |
申请公布号 |
CN102963622B |
申请公布日期 |
2014.10.29 |
申请号 |
CN201210534624.2 |
申请日期 |
2012.12.12 |
申请人 |
天津中环领先材料技术有限公司 |
发明人 |
吕莹;刘园;齐钊;李诺;吉敏 |
分类号 |
B65D85/38(2006.01)I;B65D81/20(2006.01)I;B65D81/26(2006.01)I |
主分类号 |
B65D85/38(2006.01)I |
代理机构 |
天津中环专利商标代理有限公司 12105 |
代理人 |
王凤英 |
主权项 |
一种提高单晶硅晶圆抛光片保质期的包装工艺,其特征在于,将热塑包装机设定真空度‑5Kpa;设定包装的加热温度为140℃;设定包装的冷却温度为70℃;设定冷却时间为3s;所述工艺包括如下次序的步骤:一、将洁净的单晶硅晶圆抛光片放入片盒内,扣好盒盖;二、将片盒缠好白胶带后放入内包装袋进行包装;三、热塑包装机对内包装袋进行热塑封装后,抽真空;四、在内包装袋外固定干燥剂;五、将内包装袋再放入外包装袋中,用热塑包装机对外包装袋进行热塑封装后,抽真空。 |
地址 |
300384 天津市西青区华苑技术产业园区(环外)海泰东路12号 |