| 发明名称 | 剥离光阻用组成物及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及剥离光阻用组成物及其使用方法。一种剥离光阻用组成物包含胺系化合物、醇系化合物、季铵盐化合物、有机溶剂以及水。该胺系化合物包括至少一种由下列群组所组成的叔胺系化合物：式(I)所示的氮杂环化合物及具有至少两个叔胺的链状多胺化合物。该醇系化合物包括至少一种由下列群组所组成的第一醇系化合物：糖系化合物及含炔基的醇系化合物。<img file="DDA0000493243030000011.GIF" wi="464" he="208" />于式(I)中，A及B如说明书与权利要求中所定义。该剥离光阻用组成物可防止已剥离的光阻回沾至金属层或绝缘层上，且具有大洗净容量。 | ||
| 申请公布号 | CN104122763A | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
| 申请号 | CN201410157681.2 | 申请日期 | 2014.04.18 |
| 申请人 | 奇美实业股份有限公司 | 发明人 | 刘骐铭;施俊安 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种剥离光阻用组成物，其特征在于包含：胺系化合物，包括至少一种由下列群组所组成的叔胺系化合物：式(I)所示的氮杂环化合物及具有至少两个叔胺的链状多胺化合物；<img file="FDA0000493243010000011.GIF" wi="496" he="214" />于式(I)中，A及B分别表示<img file="FDA0000493243010000012.GIF" wi="472" he="109" />或<img file="FDA0000493243010000013.GIF" wi="234" he="156" />条件是A及B中至少一者表示<img file="FDA0000493243010000014.GIF" wi="238" he="162" />其中，该R表示未经取代的C<sub>1</sub>至C<sub>4</sub>的烷基，或经取代的C<sub>1</sub>至C<sub>4</sub>的烷基；醇系化合物，包括至少一种由下列群组所组成的第一醇系化合物：糖系化合物及含炔基的醇系化合物；季铵盐化合物；有机溶剂；以及水。 | ||
| 地址 | 中国台湾台南市仁德区三甲里三甲子59-1号 | ||