一种应用于电子显微镜中的高稳定性扫描探针装置

摘要

本发明涉及材料测试仪器领域，更确切地说涉及在原子尺度和介观尺度下对材料观察，测量和控制以及类似装置。本发明的内容是提供一种将扫描透射电子显微镜和扫描探针显微镜的功能结合起来的全新设计方案；并构建一种全压电陶瓷控制的三维空间精确定位装置，此装置可以在扫描透射电子显微镜中控制和移动扫描探针，使得探针接近或接触样品的表面，从而获得样品表面成像；可有效避免探针对样品的破坏，可以使用探针在透射电子显微镜下施加控制电场，诱发反应和改变材料的性质。

主权项

一种将扫描透射电子显微镜和扫描探针显微镜的功能结合起来的全新设计方案；其设计原理在于：设计一个小型全压电陶瓷控制的三维空间精确定位装置，利用压电陶瓷的特性，通过外加脉冲电压驱动X，Y和Z方向上三个独立的步进马达，从而达到在有限的电镜样品空间内扫描探针的精确定位；此装置可以在扫描透射电子显微镜中控制和移动扫描探针，使得探针接近或接触样品的表面，从而获得样品表面成像；可有效避免探针对样品的破坏，可以使用探针在透射电子显微镜下施加控制电场，诱发反应和改变材料的性质。