发明名称 | 一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管,所述石英管尾端包括用于喷淋工艺的喷淋小管、第二小管、热电偶固定尾管和用于排放尾气的第四小管,所述第二小管用于通入电子掺杂剂。 | ||
申请公布号 | CN203904506U | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
申请号 | CN201420286667.8 | 申请日期 | 2014.05.30 |
申请人 | 合肥海润光伏科技有限公司 | 发明人 | 张衡 |
分类号 | C30B31/16(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/16(2006.01)I |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 刘燕娇 |
主权项 | 一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管,其特征在于:所述石英管尾端包括用于喷淋工艺的喷淋小管(1)、第二小管(2)、热电偶固定尾管(3)和用于排放尾气的第四小管(4),所述第二小管(2)用于通入电子掺杂剂。 | ||
地址 | 230000 安徽省合肥市新站区综合开发实验区大禹路1288号 |