发明名称 plasma reactor with improved sealing structure
摘要
申请公布号 KR101455159(B1) 申请公布日期 2014.10.27
申请号 KR20130039338 申请日期 2013.04.10
申请人 发明人
分类号 H05H1/24;H05H1/34 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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