| 摘要 |
クリーンルームのための気流検測する方法及び気流検測システムを提供する。従来の可視化測定法による精度が高くないなどの問題点を解決する。本発明のクリーンルームのための気流検測方法は、サーモグラフィ装置によってクリーンルーム内に流れる液体窒素、ドライアイス、水蒸気などの環境ガスと温度差のあるサンプルガスの気流を検測する。本発明のクリーンルームのための気流測定システムは、サンプルガス発生器と連続的にサンプルガスの空間位置を測定し表示画面に表示するサーモグラフィ装置を備える。本発明のクリーンルームのための気流測定システムによれば、測定された結果はより正確であり、クリーンルームへの汚染を防ぐことができる。また、検測設備は成熟した技術を使い、測定精度を高める。本発明のクリーンルーム内気流測定システムはサンプルガス発生器と温度検測装置を使うので、検測精度を高め、測定範囲を拡大する。 |
