| 摘要 |
本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの熱作動用の構成体であって、ミラー（９０１）は、光学有効面（９０１ａ）と、ミラーのうち光学有効面に相当しない面から当該有効面の方向に延びる少なくとも１つのアクセス通路（９１０、９１０’）とを有し、当該構成体は、アクセス通路（９１０）内を伝播する電磁放射線によるミラー（９０１）の熱作動用に設計され、当該構成体は、アクセス通路（９１０、９１０’）内で伝播する電磁放射線を生成する少なくとも１つの熱放射手段をさらに有し、熱放射手段は、アクセス通路（９１０、９１０’）に沿って作動可能である構成体に関する。【選択図】図１２ |
