ターゲット位置決め装置、ターゲット位置決め装置を駆動する方法、およびそのようなターゲット位置決め装置を備えているリソグラフィシステム

摘要

特にリソグラフィシステムのためのターゲット位置決め装置は、ターゲットを搬送するための搬送体と、前記搬送体を第一の方向（Ｘ）に沿って搬送し移動させるためのステージを備えている。前記ステージは、二つのＸステージベースを備えており、両者は共通ベースプレートの上に配されており、各ＸステージベースはＸステージキャリッジを搬送し、また前記ステージは、前記搬送体を搬送し、前記搬送体を第二の方向（Ｙ）に移動させるためのＹステージを備えているＹビームを備えている。前記Ｙビームは、前記Ｘステージキャリッジの間の空間にかかっており、フレキシブルカップリングを介してＸステージキャリッジに連結されている。前記装置は、対応のＸステージキャリッジをその対応のＸステージベースに沿っておのおの駆動するための二つのモーターをさらに備えている。前記二つのモーターは、前記ステージの少なくとも実質的に下方に配されている。前記二つのモーターの各モーターは、クランクシャフトを介して対応のＸステージキャリッジに連結されている偏心カムまたはクランクにつながれている。